產(chǎn)品詳情
                    
                    主要特點
l zui先的質(zhì)量流量混比法
l 精度高、重復性好
l 800×480 TFT觸控屏
l 全進口氣路快插件,使用方便
l 具備自校準功能,自動修正流量體積
l 稀釋氣體可多選,目前支持:SF6、N2、O2、Air等
l 可配置多組分氣體,目前可支持3種組分混比氣
l 具備程控配氣方式,可在特定時間段內(nèi)輸出特定成分氣體
技術(shù)參數(shù)
流量范圍  | 配氣通道0~150mL/min,平衡通道0~600mL/min  | 
準 確 度  | ±1.0% F.S  | 
重 復 性  | ±0.2% F.S  | 
zui大輸出流量  | 1000ml/min  | 
zui小輸出流量  | 2% F.S  | 
zui大稀釋比  | 200:1  | 
工作電源  | AC 220V/50Hz  | 
工作環(huán)境  | 環(huán)境溫度:-20℃~60℃ 相對濕度:0~90%RH  | 
管道連接  | 高級特氟龍管快插連接 減壓閥:*  | 
尺 寸  | 約470mm×370mm×240mm 
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